超细间距倒装芯片灌封胶渗透与空洞控制 |铬锐特实业

半导体先进封装技术正处于高速迭代期,其中超细间距(Fine-pitch)芯片倒装工艺已成为高端芯片(如AI处理器、高性能计算芯片、HBM内存堆叠等)的核心封装方式。在这一工艺中,底部填充胶(Underfill)扮演着至关重要的角色,它通过毛细作用渗透到芯片与基板之间的微小间隙(通常仅为50-80μm甚至更小),固化后提供机械保护、缓冲热应力并提升整体可靠性。

Fine-pitch带来的渗透难题

随着凸点间距(bump pitch)从传统的150μm缩小到目前的40-55μm,甚至向25-30μm推进,芯片与基板间的间隙高度显著降低(常降至50-75μm)。这导致传统灌封胶的渗透阻力急剧增加,流动性变差。根据行业数据,在间距低于100μm的倒装芯片中,填充时间往往是200μm间距时的2倍以上,且胶体容易因高填充颗粒含量而呈现“泥浆状”流动特性,显著提高了渗透不完全的风险。

空洞(Void)形成的控制挑战

空洞是Fine-pitch倒装工艺中最常见的缺陷之一。研究显示,在细间距封装中,空洞率若超过5-10%,将直接影响焊点疲劳寿命和界面分层风险。空洞主要源于:

  • 毛细力不足导致的气泡捕获;
  • 胶体黏度与润湿性不匹配;
  • 助焊剂残留或排气不畅。 在高密度凸点阵列下,空洞一旦出现在焊点底部,可能引发热循环测试中的焊点疲劳或桥接失效,严重时导致产品可靠性下降30%以上。
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关键影响因素与行业实践

要实现无空洞或极低空洞率的灌封,需精准调控多重参数:

  • 胶体特性:低黏度(通常<10 Pa·s)、优异润湿性(接触角<30°)、窄粒径分布的填料(减少堵塞);
  • 工艺窗口:优化点胶量、点胶路径、基板预热温度(80-120°C)和固化曲线;
  • 材料创新:采用No-flow或Molded Underfill(MUF)等变体工艺,在部分高端应用中已将空洞率控制在1%以内。 行业领先厂商通过CFD模拟和X射线检测,已将Fine-pitch(<50μm)下的空洞缺陷率降低至可接受的工程水平。

未来趋势与材料突破

展望2026-2030年,随着Cu-Cu混合键合逐步取代部分微凸点,传统Underfill使用场景虽减少,但在微凸点(micro-bump)与有机基板结合的封装中,灌封胶仍不可或缺。开发超低黏度、高流动、快固化且低应力的新型底部填充胶,将是支撑Fine-pitch倒装工艺向更高密度(<30μm pitch)演进的关键。

通过持续优化材料配方与工艺参数,能够有效掌控渗透力与空洞两大核心痛点,提供更可靠的先进封装解决方案,推动半导体产业向更高性能、更小尺寸方向迈进。

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